Pad Sedut Vakum Seramik Silikon Karbida Alumina

Prestasi produk

Kelebihan teras chuck vakum seramik, terutamanya chuck vakum seramik berliang, berpunca daripada sifat unik bahan seramik itu sendiri, khususnya ditunjukkan dalam aspek berikut:

• Kekerasan dan Rintangan Haus Luar Biasa: Bahan seperti seramik alumina dan seramik zirkonia yang digunakan dalam chuck ini biasanya mencapai penarafan kekerasan Mohs 9 atau lebih tinggi, jauh mengatasi kebanyakan logam dan plastik. Ini memberikan permukaan chuck berliang rintangan haus yang melampau, mengelakkan calar atau lelasan semasa pengendalian bahan kerja yang berpanjangan dengan habuk halus atau permukaan kasar. Ia mengekalkan kerataan dan prestasi pengedap permukaan sedutan dalam tempoh yang lama, memastikan hayat perkhidmatan yang sangat panjang. Ciri teras ini wujud dalam kedua-dua jubin seramik alumina 96% dan plat seramik zirkonia yang digunakan dalam chuck vakum seramik.
• Kerataan dan Kestabilan Dimensi Luar Biasa: Seramik alumina ketepatan atau seramik zirkonia untuk chuck menjalani pengisaran ultra-kejituan selepas pensinteran, mencapai sub-mikron atau bahkan nano-kerataan permukaan. Ini penting untuk memproses substrat seramik alumina, substrat bersalut-alumina spin atau substrat seramik zirkonia. Selain itu, seramik mempamerkan pekali pengembangan haba yang sangat rendah. Dalam persekitaran dengan turun naik suhu yang ketara, bentuk dan dimensi chuck seramik berliang kekal hampir tidak berubah. Ini memastikan penjerapan yang tepat dan stabil, menghalang lekatan yang berkurangan atau anjakan bahan kerja yang disebabkan oleh ubah bentuk terma.
• Kestabilan dan kebersihan kimia yang luar biasa: Seramik alumina dan seramik zirkonia dalam chuck vakum seramik menunjukkan rintangan kakisan yang cemerlang terhadap kebanyakan asid, alkali dan pelarut, tanpa berkarat atau mengalami tindak balas kimia. Matriksnya yang padat,-tidak berliang (dengan keliangan dalaman terkawal) tidak menyerap gas, lembapan atau zarah, memudahkan pembersihan yang mudah. Prestasi kekal tidak berubah di bawah-pensterilan suhu tinggi atau pembersihan ultrasonik. Sifat ini menjadikan penyedut vakum seramik berliang sesuai sepenuhnya untuk-persekitaran pengeluaran ultra bersih seperti semikonduktor dan biofarmaseutikal, menghalang pencemaran produk.
• Sifat terma dan elektrik yang sangat baik: Seramik tertentu seperti zirkonia dan aluminium nitrida yang digunakan dalam chuck juga mempunyai kekonduksian haba dan penebat elektrik yang unggul. Seramik alumina sendiri adalah bahan penebat yang luar biasa. Ini menjadikan chuck vakum seramik berfungsi dengan baik dalam aplikasi yang memerlukan pelesapan haba atau perlindungan terhadap gangguan elektrostatik, seperti pengendalian cip LED dan pemprosesan wafer silikon pada meja chuck berliang.
• Taburan Vakum Stabil dan Seragam: Ciri penentu bagi penyeluk vakum seramik berliang ialah keupayaannya untuk memberikan pengekalan vakum yang stabil dan sekata pada kawasan yang luas. Mendapat manfaat daripada liang mikro-yang saling bersambung di seluruh bahan, daya vakum diagihkan secara seragam ke seluruh plat vakum berliang, menghapuskan titik tegasan setempat dan meminimumkan risiko memesongkan atau merosakkan bahan kerja nipis dan rata seperti wafer, substrat atau panel.