Penerangan Produk
Cincin Pemendapan Seramik Alumina berfungsi sebagai komponen boleh guna kritikal dalam ruang tindak balas bagi peralatan Pemendapan Wap Kimia (CVD) dan Pemendapan Wap Fizikal (PVD)-peranti teras dalam pembuatan cip semikonduktor. Pemilihan bahan dan permintaan aplikasi mereka sangat ketat. Biasanya dipasang di sekitar pembawa wafer (chuck elektrostatik), ia membentuk sebahagian daripada ruang tindak balas proses. Dalam persekitaran pembuatan semikonduktor yang menuntut, peranan utama cincin pemendapan adalah untuk melindungi komponen teras yang mahal (seperti chuck elektrostatik) daripada pencemaran dan pemendapan produk sampingan proses, memastikan keseragaman proses, dan mengekalkan kebersihan dan kestabilan ruang.
Prestasi produk
- Rintangan Kakisan Luar Biasa: Mampu menahan hakisan daripada pelbagai gas plasma yang mengakis, sangat reaktif (cth, berasaskan fluorin-gas berasaskan klorin-) yang digunakan dalam proses CVD/PVD, memastikan hayat perkhidmatan yang dilanjutkan.
- Rintangan Suhu Unggul-: Mengekalkan kestabilan dan prestasi struktur pada suhu proses mencecah ratusan atau bahkan ribuan darjah Celsius tanpa ubah bentuk atau lebur, menunjukkan cirinya sebagai seramik alumina suhu tinggi-.
- Ketulenan Tinggi dan Pencemaran Rendah: Seramik-ketulenan tinggi alumina (cth, 99.9% atau lebih tinggi) meminimumkan pembebasan bahan cemar seperti ion logam daripada bahan itu sendiri ke dalam ruang proses di bawah-suhu tinggi dan keadaan plasma, menghalang pencemaran wafer. Aplikasi gred semikonduktor-mengejar ketulenan muktamad 99.99% seramik alumina.
- Kekuatan dan Kekerasan Mekanikal Cemerlang: Memiliki ketegaran yang mencukupi untuk mengekalkan kestabilan dimensi sambil menahan tekanan mekanikal dan daya pemasangan. Sifat mekanikal yang teguh membentuk asas untuk semua bentuk-sama ada plat seramik alumina, rod seramik alumina (bar alumina) atau tiub alumina.
- Penebat Unggul: Sebagai bahan penebat, seramik alumina tidak mengganggu fungsi lekatan chuck elektrostatik untuk wafer, memastikan keselamatan dan kestabilan proses.
- Kekonduksian Terma Sederhana: Membantu menyeragamkan medan suhu dalam ruang sambil mengelakkan terlalu panas. Ini adalah sifat bernilai untuk komponen pelesapan haba seperti substrat seramik alumina atau plat penyejuk seramik.
- Kepersisan dan Kebolehmesinan Tinggi: Melalui teknik pembentukan seramik termaju dan pemesinan ketepatan, bentuk kompleks dengan ketepatan dimensi yang luar biasa dan kemasan permukaan boleh dicapai.
Aplikasi produk
- Bahan Mentah: Memerlukan serbuk alumina halus, terutamanya untuk-seramik alumina ketulenan tinggi. Aluminium oksida (Al2O3) ialah bahan kimia asas.
- Pembentukan dan Pensinteran: Melibatkan pengeluar seramik alumina yang menggunakan teknik untuk menghasilkan kosong seramik alumina, seperti blok alumina, plat alumina (lembaran alumina), tiub alumina (tiub al2o3), dan cakera alumina.
- Pemesinan Ketepatan: Dilakukan oleh pakar pemesinan seramik alumina atau pembekal alat ganti, menukar kosong kepada komponen akhir seperti plat seramik alumina, rod seramik alumina atau bahagian struktur seramik alumina kompleks.
- Bentuk dan Aplikasi Lain: Di luar gelang pemendapan, seramik alumina mempunyai pelbagai kegunaan semikonduktor, seperti substrat seramik alumina (substrat al2o3) untuk pembungkusan, membran seramik alumina dan tiub gentian alumina untuk penebat.
Sijil dan Kepujian
Pakar kami mempunyai pengalaman R&D selama 20 tahun dalam membangunkan dan mengeluarkan bahan seramik termaju dan seramik ketepatan secara bebas, mencapai standard-kelas dunia. Kami telah diiktiraf sebagai Perusahaan Teknologi Tinggi-Nasional dan merupakan projek bakat terkemuka di Shaoxing City, yang dikenali sebagai "Pekan Asal Ulama."
Kami mematuhi sistem pengurusan kualiti ISO 9001 dengan ketat untuk memastikan konsistensi:
- 100% pemeriksaan bahan mentah
- Barisan pengeluaran tekan panas-termaju
- Ujian dalaman-: ketumpatan, kekerasan, analisis struktur mikro
- Pensijilan-pihak ketiga (SGS, CE, ROHS tersedia atas permintaan)
kekuatan kilang
Kami memiliki kepakaran teknikal lanjutan dalam proses pensinteran, pembentukan, pengisaran, pemesinan CNC, penggerudian laser, pengisaran dan penggilap, membolehkan kami menyesuaikan pelbagai produk seramik mengikut spesifikasi pelanggan. Bengkel digital dan kilang pintar kami, dilengkapi dengan-sistem pengumpulan data masa sebenar, memanfaatkan prinsip pengeluaran tanpa lemak untuk meminimumkan sisa dan memaksimumkan kecekapan sumber. Dengan menyepadukan teknologi pemesinan CNC, IoT perindustrian dan sistem kawalan automatik, kami mencapai ketersambungan yang lancar dan operasi kolaboratif antara peralatan pengeluaran, dengan itu memaksimumkan penjimatan pengeluaran.
Cool tags: cincin pemendapan seramik, cincin pemendapan seramik pengeluar, pembekal, kilang, Yttrium အောက် Oxide ကြွေထည်ပြွန်
