Sisipan Bilik

Penerangan Produk

Dalam-bidang canggih pembuatan semikonduktor, sisipan ruang seramik alumina berfungsi sebagai lapisan dan bahan guna teras untuk ruang proses kritikal. Dengan sifat bahannya yang luar biasa, ia menyediakan persekitaran tindak balas yang stabil, tulen dan tahan lama untuk proses teras seperti goresan cip,-pemendapan filem nipis (CVD/PVD) dan implantasi ion. Prestasi mereka secara langsung memberi kesan kepada ketepatan proses, hasil pengeluaran dan kos pengendalian peralatan.

Prestasi produk

• Rintangan Kakisan Plasma Luar Biasa: Semasa proses etsa dan CVD, ruang diisi dengan-tenaga tinggi, plasma sangat reaktif (cth, berasaskan fluorin- atau klorin-). Seramik-ketulenan tinggi alumina mempamerkan kelonggaran kimia yang melampau, dengan berkesan menentang pengeboman dan hakisan kimia daripada plasma tersebut.
• Ketulenan Luar Biasa dan Pencemaran Rendah: Ketulenan tinggi 99.9% seramik alumina-malahan 99.99% seramik alumina-memastikan pembebasan minimum ion logam (cth, Na, K, Fe) atau kekotoran lain di bawah-suhu dan keadaan plasma yang tinggi.
• Unggul Tinggi-Kestabilan Suhu dan Kadar Gas Keluar Rendah: Seramik alumina tahan suhu-tinggi mengekalkan-kestabilan jangka panjang pada 1600 darjah . Pekali pengembangan haba mereka yang agak rendah menghasilkan ubah bentuk minimum semasa kitaran haba berulang.
• Kekuatan dan ketegaran mekanikal yang luar biasa: Walaupun seramik, seramik alumina{0}}tulen tinggi mempamerkan kekuatan dan kekerasan lenturan yang luar biasa (kekerasan Mohs 9, kedua selepas berlian). Ia menahan tekanan mekanikal dan beban pemasangan, memastikan integriti struktur ruang.
• Sifat Penebat Cemerlang: Sebagai penebat elektrik yang unggul, ia mengasingkan plasma secara berkesan daripada rongga logam, membantu dalam kawalan tepat morfologi dan pengedaran plasma.
• Rintangan Kejutan Terma: Melalui rumusan bahan yang dioptimumkan dan kawalan mikrostruktur, seramik struktur alumina moden mempamerkan rintangan kejutan haba yang dipertingkatkan, membolehkannya menahan turun naik suhu yang pantas semasa pemprosesan dan mengurangkan risiko keretakan.

Aplikasi produk

• Melindungi ruang utama: Menghalang produk sampingan tindak balas yang dijana semasa proses (jika bahan filem dan zarah produk sampingan) daripada memendap secara langsung pada-}untuk-bersih dinding ruang kekal dan komponen kritikal yang mahal dan sukar, memanjangkan hayat perkhidmatan peralatan utama dengan ketara dan mengurangkan kos penyelenggaraan.
• Mengekalkan Kebersihan Proses: Kurangkan sumber zarah dalam ruang dengan menangkap bahan cemar dan produk sampingan. Apabila permukaan sisipan menjadi terlalu tebal atau tercemar teruk, ia boleh diganti terus, memulihkan kebersihan ruang dengan cepat dan melindungi hasil produk.
• Optimumkan Prestasi Proses: Sisipan tertentu (jika plat pengedaran gas) mengambil bahagian secara langsung dalam proses, memastikan pengedaran seragam gas tindak balas di dalam ruang. Ini menjamin keseragaman dalam pemendapan atau goresan filem.

kawalan kualiti

Sijil dan Kepujian

kekuatan kilang

Bengkel digital kami, Kilang Pintar dan sistem pemerolehan data masa nyata-memanfaatkan prinsip pembuatan tanpa lemak untuk meminimumkan pembaziran dan memaksimumkan kecekapan sumber. Dengan menggabungkan teknologi pemesinan CNC, teknologi Industrial Internet of Things (IIoT) dan sistem kawalan automatik, kami mencapai ketersambungan yang lancar dan operasi kolaboratif antara peralatan pengeluaran, dengan itu memaksimumkan penjimatan pengeluaran.